2804210000 10
- Edelgase
2804210000 80
- - Argon
2804290000 80
- - andere
2804291000 80
- - - Helium
2804299000 80
- - - andere
2804500000 80
- Bor; Tellur
2804501000 80
- - Bor
2804509000 80
- - Tellur
2804610000 10
- Silicium
2804610000 80
- - mit einem Gehalt an Silicium von 99,99 GHT oder mehr
2804700000 80
- Phosphor
2804701000 80
- - roter Phosphor
2804709000 80
- - anderer